Akt oskarżenia obejmował przede wszystkim zarzuty dotyczące udziału oskarżonych w gazowaniu Żydów przywożonych z całej Europy na terenie obozu w Brzezince, dokonywania rozlicznych egzekucji i maltretowania więźniów oraz popełnienia innych okrucieństw na terenie obozu. Łączną liczbę ofiar obozu ocenia się na ok. 1,1 do 1,5 miliona (w ogromnej większości Żydów, ale także więźniów politycznych z Polski i innych krajów okupowanych, Cyganów oraz radzieckich jeńców wojennych).

Na ławie oskarżonych zasiedli między innymi: Arthur Liebehenschel (komendant obozu, następca Rudolfa Hössa), Max Grabner (szef obozowego Gestapo), Hans Aumeier (jeden z kierowników obozu i zastępców komendanta), Maria Mandl (kierowniczka obozu kobiecego w Brzezince), Karl Ernst Möckel (szef obozowej administracji) i Erich Muhsfeldt (kierownik krematoriów w Brzezince). Aumeier i Muhsfeldt zostali już wcześniej skazani za zbrodnie popełnione w obozach na terenie III Rzeszy, lecz Amerykanie postanowili przekazać ich Polsce by odpowiedzieli także za zbrodnie których dopuścili się w Auschwitz. W toku procesu trybunał uznał organizację obozów koncentracyjnych za organizację przestępczą. W wyniku procesu 23 oskarżonych skazano na karę śmierci przez powieszenie (2 oskarżonym zamieniono ją następnie na dożywotnie pozbawienie wolności), 16 na karę pozbawienia wolności od dożywotniego pozbawienia wolności do 3 lat, a jednego oskarżonego uniewinniono. Wyroki śmierci wykonano 24 stycznia 1948 w więzieniu Montelupich w Krakowie.

W uzasadnieniu wyroku Najwyższy Trybunał Narodowy rozstrzygnął kwestię powołania się oskarżonych na rozkaz przełożonych (co miało znaczenie nie tylko dla tej sprawy) stwierdzając, iż: Znęcanie się nad i tak nadmiernie udręczonymi więźniami dowodzi wielkiego zezwierzęcenia tych oskarżonych, którzy w wyniku przewodu sądowego zostali skazani na karę śmierci. To znęcanie się ze strony tych oskarżonych, którzy wszyscy brali mniejszy lub większy udział w zabijaniu więźniów, wskazuje też na to, że ci oskarżeni brali udział w tych zabójstwach z potrzeby wewnętrznej zabijania, a nie w wykonaniu rozkazu przełożonych. Gdyby bowiem nie odczuwali potrzeby zabijania, to albo okazywaliby więźniom współczucie, albo też byliby dla nich obojętni, lecz nie znęcaliby się nad nimi.

Werdykt Najwyższego Trybunału Narodowego w pierwszym procesie oświęcimskim

Oskarżony      Stopień    Funkcja          Wyrok

• Arthur Liebehenschel SS-Obersturmbannführer komendant obozu śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Hans AumeierSS-Sturmbannführer Schutzhaftlagerführer śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Max GrabnerSS-Untersturmführer szef obozowego gestapo śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Karl Ernst Möckel SS-Obersturmbannführer kierownik administracji obozowej śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Maria Mandl SS-Oberaufseherin kierowniczka obozu kobiecego w Birkenau śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Franz Xaver KrausSS-Sturmbannführer oficer informacyjny śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Ludwig Plagge SS-Oberscharführer Rapportführer śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Fritz Buntrock SS-Unterscharführer Rapportführer śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) Wilhelm Gerhard Gehring SS-Hauptscharführer komendant podobozu śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Otto Lätsch SS-Unterscharführer zastępca komendanta podobozu śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) Heinrich JostenSS-Obersturmführer dowódca kompanii wartowniczej śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Josef Kollmer SS-Obersturmführer dowódca kompanii wartowniczej śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Erich Muhsfeldt SS-Oberscharführer kierownik krematoriów w Birkenau śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Hermann Kirschner SS-Unterscharführer urzędnik administracji obozowej śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Hans Schumacher SS-Unterscharführer kierownik obozowego magazynu żywnościowego śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• August Bogusch SS-Scharführer urzędnik w kancelarii kierownika obozu śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Therese Brandl SS-AufseherinSS-Erstaufseherinśmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Paul Szczurek SS-Unterscharführer Blockführer śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Paul GötzeSS-Rottenführer Blockführer śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Herbert Paul Ludwig SS-Oberscharführer Blockführer śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano)
• Kurt Hugo Müller SS-Unterscharführer Blockführer śmierć przez powieszenie (wyrok wykonano) Johann Paul Kremer SS-Obersturmführer lekarz obozowy śmierć przez powieszenie (karę zamieniono na dożywotnie pozbawienie wolności)
• Artur Breitwieser SS-Unterscharführer urzędnik administracji obozowej śmierć przez powieszenie (karę zamieniono na dożywotnie pozbawienie wolności)
• Detleff Nebbe SS-Sturmscharführer sierżant kompanii wartowniczej dożywotnie pozbawienie wolności
• Karl Seufert SS-Hauptscharführer nadzorca w bloku więziennym dożywotnie pozbawienie wolności
• Hans Koch SS-Unterscharführer członek obozowej służby dezynfekcyjnej dożywotnie pozbawienie wolności
• Luise Danz SS-Aufseherin nadzorczyni dożywotnie pozbawienie wolności
• Adolf Medefind SS-Unterscharführer strażnik dożywotnie pozbawienie wolności
• Anton Lechner SS-Rottenführer strażnik dożywotnie pozbawienie wolności
• Franz Romeikat SS-Unterscharführer urzędnik administracji obozowej15 lat pozbawienia wolności
• Hans Hoffman SS-Rottenführer obozowe gestapo15 lat pozbawienia wolności
• Hildegard Martha Lächert SS-Aufseherin nadzorczyni15 lat pozbawienia wolności
• Alice Orlowski SS-Aufseherin nadzorczyni15 lat pozbawienia wolności
• Johannes Weber SS-Sturmmann pracownik w kuchni obozowej15 lat pozbawienia wolności
• Alexander Bülow SS-Sturmmann strażnik15 lat pozbawienia wolności
• Eduard Lorenz SS-Unterscharführerstrażnik 15 lat pozbawienia wolności
• Richard Schröder SS-Unterscharführer urzędnik rachunkowy 10 lat pozbawienia wolności
• Erich Adam Dinges SS-Sturmmann szofer obozowy 5 lat pozbawienia wolności
• Karl Jeschke SS-Oberscharführer strażnik 3 lata pozbawienia wolności
• Hans Münch SS-Untersturmführer lekarz w Instytucie Higieny SS uniewinniony

Drugi proces oświęcimski toczył się od 20 grudnia 1963 do 10 sierpnia 1965 przed zachodnioniemieckim sądem we Frankfurcie nad Menem.